螺杆泵工作原理

干式螺杆真空泵主要通过主动转子、从动转子啮合转动使吸气段的封闭空间变大来吸入气体，气体通过进气口进入封闭空间后，随着泵的继续运转，在主、从动转子的螺杆啮合旋转作用下，封闭空间从进气端向排气端移动，期间封闭空间的大小不变，压力逐渐上升，不存在中间排气现象，当封闭空间与排气口接通时，排气通道内的气体反冲至腔体内，造成腔体内的气体压力升高、温度升高，并带来气流噪声，随着泵的继续运转，腔体内的体积开始逐渐变小，腔体内的气体被不断的排出。

BD系列性能特点

转子型线啮合均匀，密封性好，抽气效率高；

排气路径短，减少制程物沉积；

转子作G1级动平衡实验，泵运行震动小；

采用密封式结构，避免了因动密封磨损而出现的润滑油外漏现象；

排气口采用专用消音器，消声效果好，噪音低；

结构简单合理，零件种类、数量少，维护方便。