恶臭废气处理的原则是化工厂废气净化装置本身的安全可靠性；化工厂废气处理环保除臭设备设计的完善合理性。二者只要有一存在安全性问题，那必然存在安全隐患。恶臭废气处理常见的方法有生物分解法、活性碳吸附法、等离子法、植物喷洒液除臭法和和UV光解净化法。
油厂废气处理设备治理工艺
(1)活性碳吸附法：活性碳吸附法是利用活性炭内部空隙结构发达，有巨大比表面积原理来吸附通过活性炭池的恶臭气体分子，初期处理效率可达65%，但极易饱和，通常数日即失效，需要经常更换。
(2)等离子法：等离子法是利用高压电极发射离子及电子，破坏恶臭分子结构的原理，轰击废气中恶臭分子，从而裂解恶臭分子，对低浓度的恶臭气体净化效果明显，在正常运行情况下可达到80%以上，能处理多种臭气充分组成的混合气体，不受湿度的影响，且无二次污染
(3)UV光解法：在TiO2光解催化氧化设备内，高能紫外线光束与空气、TiO2反应产生的臭氧、·OH(羟基自由基)对恶臭气体进行协同分解氧化反应，同时大分子恶臭气体在紫外线作用下使其链结构断裂，使恶臭气体物质转化为无臭味的小分子化合物或者*矿化，生成水和CO2，达标后经排风管排入大气，整个分解氧化过程在1秒内完成。
