西安金属废气处理设备维修贵金属催化剂的催化氧化反应一般遵循反应机理，是指在发生催化反应过程之前，所有的反应物都已经被吸附到催化剂表面，表面反应为控速步，其本质为吸附粒子之间发生的反应。反应机理是两种吸附的分子进行表面反应的多相催化反应，即两种反应物先吸附在固体催化剂上，在表面上发生反应，生成的产物再脱附，反应速度与两种反应物在催化剂表面的覆盖度成比。体现在贵金属催化氧化VOCs 的反应过程中为: 贵金属活性组分被认为处于还原态，作为氧化还原表面反应的活性中心而发挥作用。首先，氧气在贵金属活性位上分解为氧自由基，同时VOCs 气体在贵金属活性位上吸附，氧自由基进攻吸附的VOCs 气体，形成无污染的二氧化碳和水，在催化剂表面脱附，进行下一个反应过程。

西安金属废气处理设备维修非贵金属氧化物催化剂的催化氧化反应一般遵循Mars-van Krevelen 反应机理，这种机理也被称为氧化还原机理，实质为反应过程中反应物与催化剂晶格氧离子反应。首先是反应物与催化剂中晶格氧反应，在此过程中产生氧空位，同时晶格氧被还原，之后催化剂被解离吸附的氧补充氧空位而被重新氧化，得以再生。体现在非贵金属氧化物催化氧化VOCs 的反应过程中为: 一步，VOCs 气体分子与催化剂中晶格氧进行反应，生成二氧化碳和水，第二步为产生氧空缺的催化剂进一步被氧化，氧空位消失，催化剂恢复活性进行下一个反应过程。