horiba微量气体分析仪 GA-370
概述痕量气体分析仪GA-370对痕量杂质(CO、CO 2、 CH 4)具有ppb级的超高灵敏度和高精度,适用于制氢厂、空分厂、半导体等气体生产设备的质量控制生产线。连续连续监测是可能的。它可用于各种背景,例如H 2、N 2、空气、Ar、CO 和 CO 2。一台设备可以同时测量两种成分。
特征实现超灵敏分析
▶ 采用交叉调制非色散红外吸收法(NDIR),实现零漂移,可长时间稳定连续测量。
▶ 10 ppb 的z低检测灵敏度使其非常适合需要精度的场所。
可在纯气体中进行痕量测量
▶ 与典型气体 N₂、O₂、He、Ar、H₂ 和 Air 兼容。
* 其他基础气体请联系我们。
操作简单,免维护
▶ 无需特殊操作即可使用。校准和测量等所有操作都可以在屏幕上进行。
▶ 采用HORIBA新创的不需要光学调整的交叉调制非色散红外吸收方法,实现了免维护。
▶ 采用彩色触摸屏,液晶屏可显示图形,提高可视性。
horiba微量气体分析仪 GA-370
规格格式 | GA-370 |
测量对象 | 基础气体(N 2、O 2、He、Ar、H 2、空气)中的CO、CO 2、CH 4 |
被测组件数 | 1 个组分或 2 个组分(测量基础气体名称) |
测量原理 | 交叉调制法 非色散红外吸收法 (NDIR) |
测量范围 | 0 到 1/2/5/10 ppm |
最小检测灵敏度 (2σ) | 10 ppb |
重复性 | ± 2% 满量程 |
线性(指示误差) | ± 2% 满量程 |
零漂移 | ± 0.02 ppm/天,± 0.03 ppm/周 |
跨度漂移 | 满量程±2%/天,满量程±3%/周 |
响应时间 | 设备入口 90% 响应 180 秒或更短 |
使用的气体流量 * | 样气:约 3.5 L/min,比较气:约 3.5 L/min,量程气:约 3.5 L/min 对于 |
模拟输出 | 2ch绝缘输出(浓度) |
安装条件 | 环境温度:0-40°C |
外形尺寸,质量 | 430 (W) x 221 (H) x 555 (D) mm(不包括突出部分),约 18 kg |
电源 | AC 100-240 V ± 10%(电压:250 V) |
能量消耗 | 常规时间约 100 VA |