X射線螢光分析儀(X-ray fluorescence,XRF)是利用X射線照射在分析物質上來進行元素定性和定量的分析技術，此測試方式具有快速、非接觸、非破壞性及多元素分析等特點，無須樣品前處理，無須液態氮充填等運行成本，可快速分析檢測樣本，具有多種類型XRF可廣泛應用於各個領之域中。

能量分散式X射線螢光分析儀(EDXRF)廣範地應用在多樣化樣品的定量與半定量元素分析技術上。元素偵測範圍從 Na(鈉) ~U(鈾)，濃度範圍從低parts-per-million (ppm)至高weight percent (wt%)。