罗茨真空机组是以罗茨泵为主泵、旋片泵/水环泵为前级泵的中高真空获得设备。全套机组由罗茨泵、旋片泵/水环泵、管道（含波纹管）、阀门、电控箱等组成。

罗茨真空机组的**，一是弥补了双级旋片泵在103~1Pa时抽速减小的缺陷，二是与相同抽速的双级旋片泵相比，具有显著的节能效果。
在一般工况条件下，罗茨泵和旋片泵/水环泵串联成的机组**多可以为三级（二台罗茨泵和一台旋片泵/水环泵），其极限压力可以提高一个数量级，即进入10-3Pa，但要获得更高的极限真空，再增加罗茨泵效果则不明显。
与前级同为机械泵的其它类型机组相比，本机组体积小，重量轻，噪声低，真空度高。适合于抽除无腐蚀性、对泵油不起化学反应的洁净气体，在气镇条件下，也可抽除少量可凝性气体。
机组既可以作为主抽气设备，又可以作为更高真空获得设备（如扩散泵、分子泵）的前级或预抽设备，广泛应用于真空冶炼、钢液脱气、真空干燥、真空浸渍、真空绝热、真空浓缩、真空脱色及脱臭、电光源及保温瓶胆的排气等。
根据实际需要机组可以设计多套并联，以提高机组的抽气能力