日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
总览下一代湿法HORIBA通过控制化学药品浓度来提高产量并优化工艺。为了在半导体制造过程中遵守严格的化学浓度控制,我们实现了满足现场需求的z佳功能,例如稳定的测量精度,考虑到工作安全性的*管道固定结构以及紧凑的设计。
特征实现*的非接触式和高稳定性外部直接连接到PFA管道的*传感器结构消除了污染的风险。此外,它消除了安装传感器时的管道工作需求,并消除了化学泄漏等事故的风险。此外,通过更新传感器的光学系统,我们实现了小型化,同时保持了与常规产品(CS-600F * 1)相同的可重复性和稳定性。
高质量和稳定的测量
Contami风险为“零”重现性和稳定性相当于传统产品CS-600F * 1纠正由于液温变化而引起的显示器读数变化采用HORIBA独chuang的算法来纠正气泡的影响抑制振动效果
采用HORIBA独chuang的光学系统结构,可防止管道固定和未对准节省空间
将光源和光谱仪集成到电池单元中显示器使用面板安装类型(9.6厘米x 9.6厘米)延长光源寿命
采用LED灯,使用寿命更长(5年保修)改善工作安全
半年一次的BG校正周期由于安装传感器时无需安装管道,因此降低了发生化学泄漏等事故的风险。* 1 CS-600F是HORIBA的光纤型化学浓度监测仪。
由于不使用光纤的光学设计以及放大器和传感器的小型化,增加了安装布局的灵活性实现直接和稳定的化学物质测量(20°C至80°C)■稳定性
测量条件
测量周期:每3秒测量时间:1小时
移动平均值:16次温度:室温管径:3/4英寸
样品浓度(在测量开始时)
NH 3:0.95%H 2 O 2:5.15%H 2 O :93.9%
测量结果作为
样品(实际溶液)的1小时的测量结果,显示出良好的稳定性。
日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
规范产品名称 | 非接触式化学浓度监测仪CS-900 | ||||
模型 | CS-900 | ||||
测量原理 | 吸收光谱 | ||||
浓度计算方法 | 温度补偿多元分析方法 | ||||
测量范围/ | 型号名称 | 成分名称 | 测量范围 | 重现精度 | 模拟量输出范围 |
CS-900-1P-1P25P5 | NH 3 | 0.00%-1.20% | ±0.05% | 0.00-10.00 | |
H 2 O 2 | 0.00%-5.50% | ±0.10% | 0.00-10.00 | ||
高氧2 | 93.3%-100.0% | ±1.0% | --- | ||
CS-900-1P-P8P8 | NH 3 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | |
H 2 O 2 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | ||
高氧2 | 98.4%-99.6% | ±0.3% | --- | ||
测量条件 | 1)测量周期:大约3秒 | ||||
管道* 1 | PFA管道1英寸或3/4英寸 | ||||
样品溶液条件* 2 | 化学溶液温度:20-80°C化学 | ||||
电源供应 | DC24V | ||||
消耗功率* 3 | 约30W | ||||
大众 | 显示:约0.9Kg | ||||
外形尺寸(宽x深x高) | 显示:96 x 135 x 96 mm | ||||
传感器单元安装角度 | 前后方向:±3度以内,左右方向:0-90度 | ||||
光源寿命 | 5年 | ||||
通讯 | 并行I / O,RS-232C,模拟输出 |