超日净化 uv光解净化设备

CRBR型外延炉尾气净化器是在我公司引进美国先进技术以及结合我公司十几年的设计生产经验而研发出的新型外延炉尾气净化器，是迄今为止及高效、可靠和低成本的Epi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺尾气处理设备。

CRBR型外延炉尾气净化器的成功研发，解决了SiO2粉尘在进气口的堵塞问题这一行业难题；由于该产品采用了本公司研制的先进进气技术和承插式活动进气套管，无需停机的清除粉尘的装置，使得该洗涤器的一次维护时间可长达半年之久。这一优异性能带来了设备更长的正常运行时间、更高的产量、更优异的工艺稳定性和更高的安全性。

与同行业相关洗涤净化器相比，本公司研制的CRBR型外延炉为其净化器有着诸多优势：

净化效率更高

使用成本更低

操作维护更方便

进气口设置更科学

维护停机时间更短

负压稳定性更好

安全可靠性更高

设备体积同行业更小

通过使用商反馈数据表明：即使在要求严格的pi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD工艺条件下使用，经过洗涤器的HCl废气在洗涤器的排放口仍在1ppm以下，SiO2粉尘去除率在**以上，水溶性气体的清除率达到**以上。

16年废气领域治理经验，专业系统方案解决服务商

160多家上市企业指定废气治理供应服务商

400多家企业客户共同见证

通过ISO9001:2008质量管理体系认证

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