爱德华 罗茨泵 机械增压泵 EH1200
材质 | 铸铁 |
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抽气速率 | 4140m3/h |
电机功率 | 11KW |
极限压力 | 0~-7000 |
类型 | 真空泵 |
输送介质 | 气体 |
性能 | 卫生,耐磨,耐腐蚀 |
泵轴位置 | 卧式 |
品牌 | 爱德华 |
型号 | EH4200 |
加工定制 | 否 |
Edwards从1939年开始制造真空设备到现在,在光伏和led行业应用广泛,也是半导体、平板显示器、太阳能电池、电力、玻璃和其他涂层应用、钢和其他冶金、制药和化学制造过程中不可缺少的一部分,Edwards 是有实力的开发商和生产商,提供精密的真空泵系统产品、减排解决方案和相关的增值服务。
概述:
EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是非常受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用:
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光。
功能和优势:
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到非常低。轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要较高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。