SFP-QⅥ 表面尘埃粒子计数器SURFACE

表面尘埃粒子计数器SURFACE

SFP-QⅥ型是新一代的表面颗粒检测仪

表面尘埃粒子计数器SURFACE

SFP-QⅥ型是新一代的表面颗粒检测仪

优点

即时测量表面微粒

通过减少产品中的颗粒来提高产量

通过快速识别粒子源最大限度地缩短故障排除时间

轻松解决尘埃颗粒附着关键表面或产品上，减少因尘埃颗粒引起的降低产量和影响产品可靠性的问题，节省时间和成本

用于测量各种高洁净度要求的产品，光学镜片组件、液晶面板及超净微环境受控的半导体机台等表面所附着的尘埃粒子的粒径大小及单位面积内的数量。本仪器的核心零部件（光学传感器）及控制器等采用国内高性能的组件来保证该产品的测量精度。本仪器外壳采用SUS304不锈钢制作，并经表面钝化、电解处理。彩色触摸液晶屏显示操作，检测光学传感器采用国内高精度传感器，吸气的气泵为旋片式进口气泵，并可通过流量传感器来自动调节气泵的运行流量，使其保持在一个稳定的检测流量范围内，表面测试探头根据德国同类产品进行改良优良，并配有防静电软管与主机连接，其于用排气及吸气过滤的囊式过滤器。内部滤材为进口，从而保证仪器的检测精度及运行稳定性。表面粒子计数器由三部分组成：扫描取样头：取样的同时可以提供一定压力的吹扫气流，可以集成操作控制器；激光尘埃粒子计数器主机：主要由气泵、传感器、主控板、过滤器以及电池组成；连接主机与扫描采样头的管道：包括取样管道与吹扫管道。

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